标准编号：YS/T 14-2015
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
标准状态：现行
发布日期：2015-04-29
实施日期：2015-09-30
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：有色金属
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：H21
国际标准分类：77.040.
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：制造业
制修订：修订
代替标准：YS/T 14-1991
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：马林宝、杨帆、葛华等