标准编号:GB/T 16942-2025
标准名称:电子气体 大宗气体
标准类型:推荐性
标准英文:Electronic gas—Bulk gas
标准状态:即将实施
发布日期:2026-02-01
实施日期:2025-08-01
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:化工技术
国内标准分类号:G86
国际标准分类:71.100.20
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准委
标准类别:产品
代替标准:GB/T 16942-2009,GB/T 14604-2009,GB/T 16945-2009,GB/T 16944-2009,GB/T 16943-2009
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起草人:赵帅德 茹高艺 吴亚莲 王帅 管仲 侯鹏 何经余 周勇 许高坡 贾厚成 史兰 江月军 刘军航 董云海 杨忠林 李建浩 程化鹏 谈益强 兰锋 高静 常侠 牛迪 依俊廷 黄辉 张金波 宫兵 赵洁 杨扬仲夫 杨康 周鹏云 祝岩李博叶相平代井平钱吉吴禹强单鹏邓韬张松徐正军金星屹赵颖毅黄英谢世鹏孙福楠郭琼尹乐乐王飞华殷昊张薇薇方华赵艳超尹冬梅王漫王大为张朋越任希辉何波唐霞梅