标准编号：GB/T 44517-2024
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
标准类型：推荐性
标准英文：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
标准状态：即将实施
发布日期：2025-04-01
实施日期：2024-09-29
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L59
国际标准分类：31.080.99
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准委
标准类别：方法
代替标准：
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