标准编号：GB/T 24578-2015
标准名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
标准状态：现行
发布日期：2017-01-01
实施日期：2015-12-10
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H17
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：GB/T 24578-2009
起草单位：有研新材料股份有限公司浙江省硅材料质量检验中心 万向硅峰电子股份有限公司
起草人：孙燕 李俊峰 朱兴萍 楼春兰潘紫龙