标准编号:GB/T 31472-2015
标准名称:X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
标准类型:推荐性
标准英文:Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
标准状态:现行
发布日期:2016-01-01
实施日期:2015-05-15
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:计量学和测量、物理现象
国内标准分类号:N26
国际标准分类:17.220.20
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心苏州晶瑞化学有限公司 中国电子技术标准化研究院 天津中环领先材料技术有限公司
起草人:李雨辰 何秀坤 李翔 刘筠刘兵