标准编号：GB/T 18867-2014
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
标准类型：推荐性
标准英文：Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride
标准状态：现行
发布日期：2015-07-01
实施日期：2014-12-22
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：GB/T 18867-2002
起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司青海信禾高精化工有限公司四川众力氟业有限责任公司大连大特气体有限公司上海仪盟电子科技有限公司 成都科美特氟业塑胶有限公司 佛山市华特气体有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 四川中测标物科技有限公司
起草人：黄晓磊 牛学坤 刘长庆 任清贵 赖明贵傅涛