标准编号：GB/T 31058-2014
标准名称：电子工业用气体 四氟化硅
标准类型：推荐性
标准英文：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
标准状态：现行
发布日期：2015-07-01
实施日期：2014-12-22
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司绿菱电子材料（天津）有限公司贵州大学 佛山市华特气体有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院有限公司
起草人：邓建平 李于教 崔学文 方华 傅铸红汤有伦