标准编号：GB/T 30866-2014
标准名称：碳化硅单晶片直径测试方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行
发布日期：2015-02-01
实施日期：2014-07-24
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H83
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所 中国电子技术标准化研究院
起草人：丁丽 周智慧 蔺娴郝建民