标准编号：GB/T 42263-2022
标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
标准类型：推荐性
标准英文：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
标准状态：现行
发布日期：2023-04-01
实施日期：2022-12-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H17
国际标准分类：77.040
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所 有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：马农农 何友琴 刘立娜 何烜坤 李素青陈潇