标准编号：GB/T 40577-2021
标准名称：集成电路制造设备术语
标准类型：推荐性
标准英文：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
标准状态：现行
发布日期：2022-05-01
实施日期：2021-10-11
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L95
国际标准分类：31.220
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：中国电子技术标准化研究院中电科电子装备集团有限公司中微半导体设备（上海）股份有限公司东莞市中镓半导体科技有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司 北京北方华创微电子装备有限公司 上海微电子装备（集团）股份有限公司 江苏卓远半导体有限公司
起草人：张军华 冯亚彬 裴会川 朱亮 杜若昕 唐彩红 魏唯 田涛 王宏智 曹可慰曹建伟周哲武小娟丁晓民傅林坚刘英斌李国平