标准编号：GB/T 11164-2011
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
标准类型：推荐性
标准英文：Vacuum coating plant generic specification
标准状态：现行
发布日期：2012-03-01
实施日期：2011-11-21
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：流体系统和通用件
国内标准分类号：J78
国际标准分类：23.160
技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
标准类别：基础
代替标准：GB/T 11164-1999
起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司兰州真空设备有限责任公司中国航天科技集团第五研究院510研究所等 上海曙光机械制造厂有限公司 成都南光机器有限公司
起草人：陈月增 谢钧荣 温发兰 范立群孙凯