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GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

标准号
GB/T 14015-1992
下载格式
PDF
发布日期
1993-08-01
实施日期
1992-12-28
标准类别
国家标准
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简介

标准编号:GB/T 14015-1992

标准名称:硅-蓝宝石外延片

标准类型:推荐性

标准英文:Silicon on sapphire epitaxial wafers

标准状态:现行

发布日期:1993-08-01

实施日期:1992-12-28

标准语言:中文

发布部委:

国际分类:

国内标准分类号:L90

国际标准分类:

技术归口:>全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:>国家标准化管理委员会

标准类别:产品

代替标准:

起草单位:天津半导体技术研究所

起草人:

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