标准编号:GB/T 14015-1992
标准名称:硅-蓝宝石外延片
标准类型:推荐性
标准英文:Silicon on sapphire epitaxial wafers
标准状态:现行
发布日期:1993-08-01
实施日期:1992-12-28
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:
国内标准分类号:L90
国际标准分类:
技术归口:>全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:>国家标准化管理委员会
标准类别:产品
代替标准:
起草单位:天津半导体技术研究所
起草人: